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設備名稱:LDI曝光機
設備品牌:源卓
設備產能:8500m²/月
設備工藝:線寬精度±5um,層間對位精度±20um,外層對位精度±10um,解析度60um,曝光均勻性≥95%,自動漲縮管控
設備優勢:提高精細線路的制作能力,減少生產報廢,同時提升生產效率。
4000-169-679
2020-12-21 02:32
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設備名稱:LDI曝光機
設備品牌:源卓
設備產能:8500m²/月
設備工藝:線寬精度±5um,層間對位精度±20um,外層對位精度±10um,解析度60um,曝光均勻性≥95%,自動漲縮管控
設備優勢:提高精細線路的制作能力,減少生產報廢,同時提升生產效率。
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